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       眾所周知光譜儀是指利用折射或衍射產(chǎn)生色散的一類光譜測(cè)量儀器。光柵光譜儀是光譜測(cè)量和分析中最常用的儀器，故光柵的衍射效率極為重要。為了提高光柵衍射效率，在提高制作工藝的基礎(chǔ)上，通常采用特殊鍍膜以增強(qiáng)反射率，從而增大光柵的衍射效率。

       閃耀波長指與衍射角對(duì)應(yīng)的光能量最強(qiáng)的衍射波長。閃耀波長由閃耀角來決定。由于每塊光柵的閃耀角不同，故其閃耀波長也不同。當(dāng)入射角α、衍射角β與閃耀角θ相等時(shí)，閃耀波長與閃耀角之間的關(guān)系式mλ=2dsinβ=2dsinθ，其中m=0，±1，±2……，d為光柵常量。

圖1、相同刻痕密度的光柵具有不同閃耀波長及其衍射效率

       光柵光譜覆蓋范圍和分辨率是非常重要的參數(shù)，直接影響光譜儀的檢測(cè)分析性能。光柵刻線的密度決定了光柵的分辨率和光譜范圍，光柵刻線密度越大，光柵分辨率越高，對(duì)應(yīng)的光柵光譜覆蓋范圍就越窄；反之，光柵刻線密度越小，光柵分辨率越低,對(duì)應(yīng)的光柵光譜覆蓋范圍就越小。因此光譜儀的檢測(cè)范圍是由起始波長加上光柵光譜的覆蓋范圍所得。

       目前，光譜儀正向微型化、自動(dòng)化方向發(fā)展，微光學(xué)、微電子、微機(jī)械的結(jié)合產(chǎn)生出一類新的應(yīng)用范圍很廣的器件，該儀器所具有的優(yōu)點(diǎn)有著巨大的市場(chǎng)，可應(yīng)用在航空、醫(yī)學(xué)、工業(yè)監(jiān)測(cè)等領(lǐng)域，因而引起了人們廣泛的興趣。