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光學文章
膜厚測試之薄膜反射干涉法和橢偏光譜法

發(fā)布時間: 2015-08-07   瀏覽次數(shù): 3512   作者:邁昂科技

      屏幕顯示行業(yè)越來越火,隨之對鍍膜工藝的要求也越來越高,膜厚測試的需求也變得越來越多。膜厚測試有很多種方法,今天我給大家介紹無損檢測的兩種光學測試方法:薄膜反射干涉法和橢偏光譜法。


一、薄膜反射干涉測量膜厚
      測量原理:入射光經(jīng)薄膜上表面反射后得到第一束光,折射光經(jīng)薄膜下表面反射又經(jīng)上表面折射后得到第二束光,這兩束光在薄膜的同側(cè),由同一入射振動分出,是相干光,當兩束光相遇時會產(chǎn)生干涉。



根據(jù)公式:
       Δ=2ntcos(θt)±λ/2
      式中n為薄膜的折射率,t為入射點的薄膜厚度,θt為薄膜內(nèi)的折射角,±λ/2 是由于兩束相干光在性質(zhì)不同的兩個界面(一個是光疏-光密界面,另一是光密-光疏界面)上反射而引起的附加光程差。


      系統(tǒng)配置:光譜儀、光源、反射探頭、支架、標定硅片
      優(yōu)點:適用于大部分已知n、k系數(shù)的介質(zhì)的透明、半透明材料,且成本相對低。(需要知道測試樣品的n、k值,才能測得膜厚)



干涉法軟件界面-海洋光學

二、橢偏光譜法測量膜厚



      測量原理:光源經(jīng)過起偏器和濾鏡后得到已知入射光的偏振態(tài),偏振光在樣品表面被反射,測量得到反射光偏振態(tài)(幅度和相位),可計算出材料的光學屬性,包括膜厚、透過率、消光系數(shù)等。
橢偏儀測量的公式比較復雜,不在這里展開。需要了解的請直接聯(lián)系我們。


      系統(tǒng)配置:光源、起偏器、濾片、檢偏器、光譜儀。
      優(yōu)點:測量精度高,可以測量超薄膜的膜厚,可以測得多層介質(zhì)的n、k系數(shù)。


橢偏法軟件界面-海洋光學

      邁昂科技是海洋光學(Ocean Optics)代理商,提供海洋光學全系列的測試解決方案。海洋光學是領先的光傳感解決方案提供商,是微型光纖光譜儀的發(fā)明者,擁有全面的產(chǎn)品線,包括光譜儀,化學傳感器,光纖,薄膜和光學元件等。目前海洋光學產(chǎn)品廣泛應用于生物醫(yī)學研究、環(huán)境檢測、生命科學、教育、照明和顯示等諸多領域。
 
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