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邁昂科技
測(cè)試與測(cè)量?jī)x器專家
電學(xué)文章
影響到電動(dòng)輪廓儀測(cè)量精度的主要的原因

發(fā)布時(shí)間: 2022-02-25   瀏覽次數(shù):   作者:邁昂科技

影響電動(dòng)輪廓儀測(cè)量精度的因素主要有以下幾點(diǎn)。
1.觸針的半徑

傳感器觸針的端部越尖,越能真實(shí)地反映被測(cè)工件表面的微觀幾何形狀誤差,但觸針過(guò)尖,不但制造加工很困難,并且更易劃傷被測(cè)表面。觸針端部通常均制成圓弧形,此圓弧半徑越大,帶來(lái)的測(cè)量誤差越大。低精度輪廓儀觸針端部的圓弧半徑為5um或10um。高精度輪廓儀觸針端部的圓弧半徑為1um。


2.傳感器導(dǎo)頭半徑

傳感器導(dǎo)頭的作用是,觸針在被測(cè)表面上移動(dòng)的過(guò)程中,形成觸針感觸微觀幾何形狀誤差的基準(zhǔn)線,因而要求導(dǎo)頭曲率中心的運(yùn)動(dòng)軌跡與被測(cè)表面的宏觀幾何形狀輪廓一致。只有當(dāng)輪廓曲線起伏間距小或?qū)ь^的圓弧半徑較大時(shí),才可以達(dá)到此項(xiàng)要求。


若導(dǎo)頭的圓弧半徑過(guò)小,則在測(cè)量中導(dǎo)頭將隨被測(cè)表面微小峰谷的起伏而上下運(yùn)動(dòng).致使導(dǎo)頭曲率中心的運(yùn)動(dòng)軌跡與被測(cè)表面的宏觀輪廓不一致,造成觸針與導(dǎo)頭的相位誤差。影響測(cè)量精度。但導(dǎo)頭圓弧半徑過(guò)大,也會(huì)使被測(cè)表面的宏觀幾何形狀誤差反映到測(cè)量結(jié)果中,降低測(cè)量精度,因而通常要求導(dǎo)頭半徑為7~50mm。


3.測(cè)力

為確切反映被測(cè)表面粗糙度,要求觸針與被測(cè)表面可靠地接觸。假如測(cè)力過(guò)小難以達(dá)到此目的,會(huì)帶來(lái)一定的測(cè)量誤差。但假如測(cè)力較大,則既易劃傷被測(cè)表面,也易使觸針端磨損。所以測(cè)力大小必須適當(dāng)二另一方面,測(cè)力大小的。


選擇還與觸針端部圓弧半徑大小相關(guān)。觸針圓弧半徑較大時(shí),選擇的測(cè)力可適當(dāng)大些;觸針圓弧半徑較小時(shí),選擇的測(cè)力必須相應(yīng)減小。通常對(duì)應(yīng)關(guān)系見(jiàn)表4.2.3。


表1觸針測(cè)力與圓弧半徑對(duì)應(yīng)關(guān)系


電動(dòng)輪廓儀的維護(hù)保養(yǎng)
①每天開機(jī)前及測(cè)量完畢后用高織紗棉布蘸無(wú)水酒精清潔工裝表面、測(cè)針、軌道。
②平時(shí)不使用時(shí)將所有電源關(guān)閉,且將測(cè)針的保護(hù)套套上。
③禁止用掃帚清掃地面,以防灰塵揚(yáng)起。
④對(duì)儀器進(jìn)行全面的維護(hù)和精度調(diào)整。
 
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