NanoCalc 薄膜反射測(cè)量系統(tǒng)
薄膜的光學(xué)特性主要有反射和干涉.NanoCalc薄膜反射測(cè)量系統(tǒng)可以用來(lái)進(jìn)行10nm~250μm的膜厚分析測(cè)量，對(duì)單層膜的分辨率為0.1nm。根據(jù)測(cè)量軟件的不同，可以分析單層或多層膜厚。
常用的兩種測(cè)量薄膜的特性的方法為光學(xué)反射和投射測(cè)量、橢圓光度法測(cè)量。NanoCalc利用反射原理進(jìn)行膜厚測(cè)量。
技術(shù)參數(shù)
|
入射角 |
90° |
|
層數(shù) |
3層以下 |
|
需要進(jìn)行參考值測(cè)量 |
是 |
|
透明材料 |
是 |
|
傳輸模式 |
是 |
|
粗糙材料 |
是 |
|
測(cè)量速度 |
100ms - 1s |
|
在線(xiàn)監(jiān)測(cè) |
可以 |
|
公差（高度） |
參考值測(cè)量或準(zhǔn)直(74-UV) |
|
公差（角度） |
參考值測(cè)量 |
|
微黑子選項(xiàng) |
配顯微鏡 |
|
顯示選項(xiàng) |
配顯微鏡 |
|
定位選項(xiàng) |
6"和12" XYZ 定位臺(tái) |
|
真空 |
可以 |
