產品概要
CG高低溫真空探針臺是SEMISHARE多年來技術積累的創(chuàng)新成果，同時SEMISHARE也是國內率先自主研發(fā)推出的高低溫真空探針臺，CG高低溫真空探針臺能夠實現(xiàn)樣品在真空高低溫環(huán)境下的精確電性、光強、波長、磁場等測試，其在超低溫，超高真空，自動控制，激光模擬方面發(fā)揮著技術優(yōu)勢。
基本信息
| 產品型號 | CG-O-4 | 工作環(huán)境 | 高低溫真空環(huán)境 |
| 電力需求 | AC220V,50~60HZ | 操控方式 | 手動探針臺 |
| 產品尺寸 | 1100*1100*530mm | 設備重量 | 約190KG |
應用方向
CG高低溫真空探針臺在高低溫真空環(huán)境下的芯片測試、LD/LED/PD測試、光纖光譜特性測試、材料/器件的IV/CV特性測試、霍爾測試、電磁輸運特性、高頻特性測試等
技術特點
真空腔體
真空腔體采用外腔和屏蔽腔雙腔體結構，為樣品測試提供極限壓力為10-4Pa的真空環(huán)境。低溫測試時，避免空氣中的水蒸氣在樣品上凝結成露水，從而避免漏電過大或探針無法接觸電極而使測試失敗。同時，由于真空絕熱作用可是有效的提供制冷效率。高溫測試時，避免了空氣中的氧氣氧化樣品，從而避免樣品電性誤差、物理和機械上的形變。
探針臂XYZ調節(jié)機構
探針臂XYZ調節(jié)機構采用了自鎖絲杠和交叉滾子導軌的結構，實現(xiàn)了探針定位精確為10um，探針漂移量優(yōu)于±60nm/30mins的高精度點針。同時，采用三軸管狀夾具和高屏蔽功能的三軸線纜，從而實現(xiàn)測試漏電精度達50FA。
探針熱沉設計，定位更精準
SEMISHARE直流探針臂均配有兩次熱沉設計，第一次探針臂熱沉在防輻射屏上、第二次探針通過陶瓷夾具熱沉在樣品臺上。SEMISHARE的熱沉設計能夠有效的降低探針臂與測試器件的溫差，提高了測試數(shù)據(jù)的精確性。
顯微鏡調節(jié)機構
顯微鏡調節(jié)機構通過調節(jié)支撐架的伸縮、高低以及顯微鏡自帶調節(jié)座，可觀測樣品任意區(qū)域。20倍目鏡和0.8倍-5倍的物鏡變焦倍率，從而實現(xiàn)樣品16X-100X的放大倍率。
制冷劑流量調節(jié)系統(tǒng)
制冷劑調節(jié)系統(tǒng)由杜瓦罐、壓縮氮氣壓力控制閥及精密調節(jié)的針閥組成。控制低溫時，通過調節(jié)壓縮氮氣壓力控制閥來調節(jié)杜瓦罐中的壓力，從而控制制冷劑流出的壓力，繼而調節(jié)制冷劑的流量；通過調節(jié)精密針閥進而精密控制制冷的流量，最終實現(xiàn)精準的低溫控溫功能。
制冷劑同軸回路
制冷劑同軸回路使制冷劑從中間進入管路進入樣品臺，流經屏蔽腔底板腔室，在回流至同軸回路外層回流管中，最后通過排氣口排放到室外。制冷劑同軸回路使得制冷劑在排出的過程中加以利用，營造相對室溫低很多的環(huán)境，抑制了進入樣品臺的制冷劑的提前消耗，從而提高制冷劑的制冷效率，較少制冷劑的消耗。
防震平臺
防震系統(tǒng)采用空氣彈簧式支撐架的防震平臺。通過空氣彈簧的形狀、材質、彈簧室的容積及補助罐容積、阻尼孔徑和水平調節(jié)閥等一系列減震設計，實現(xiàn)該系統(tǒng)垂直本征頻率為1.5Hz，水平本征頻率為1.2Hz的低頻固有頻率，承重達400Kg的承載能力。從而有效避免細微低頻率頻帶的振動給測試帶來的不利影響。
