面板TEG Prober
型號		TEG prober-G6		TEG prober-G8.5
外形		2850mm(寬)x2500mm(長)x2500 mm(高)		4000mm(寬)x3500mm(長)x2500 mm(高)
重量		約9700KG		約14200KG
電力需求		380V，50Hz, 3Phase, approx. 50A Max
可測試液晶屏尺寸		長寬≤1500 *1850 mm(W x D) , 厚度≤3mm		長寬≤2500 * 2200 mm(W x D) , 厚度≤3mm
平臺功能	Gantry結(jié)構(gòu)	龍門式，可以選擇雙龍門
	X-Y-Z軸運(yùn)動行程	1850*1500 *58mm(X-Y-Z)		2500 *2200*58mm(X-Y-Z)
	X-Y運(yùn)動速度	0~600mm/s可調(diào)	探針規(guī)格	針卡	兩套，可同時測試兩個patten
	X-Y精度(最小移動量)	0.1um			Pitch范圍：定制
	X-Y重復(fù)定位精度	±1um			探針材質(zhì)：鎢or鈹銅等
	X-Y 軸驅(qū)動	直線電機(jī)+光柵尺			工作模式：可以單獨(dú)測試，或者兩個針卡一起測試。兩個針卡間的相互距離可調(diào)。
	Z 運(yùn)動速度	0~10mm/s可調(diào)
	Z精度	0.25um		探針和TEG對位方式	坐標(biāo)定位
	Z重復(fù)定位精度	±1um			測試過程中的二次視覺檢測
	Z軸驅(qū)動	伺服電機(jī)+光柵尺		探針和TEG的接觸方式	自動接觸
	Z軸保護(hù)	電機(jī)自鎖+機(jī)械限位保護(hù)			探針自動保護(hù)功能:edge sensor 和機(jī)械限位，可以根據(jù)panel厚度設(shè)定限位高度，點(diǎn)針的OD值可設(shè)。
	樣品臺平整度	±50um平整度
	樣品臺涂層	防靜電涂層
	樣品臺高低溫	Temp Chuck 或者 Thermal Stream (-55~200℃)
光學(xué)特性	光路系統(tǒng)倍率：	5X ,10X ,20X，50X  Objects		探針軸旋轉(zhuǎn)行程	±90°
		放大倍率范圍50X~ 500X		探針旋轉(zhuǎn)精度	0.01°
	聚焦	自動聚焦		旋轉(zhuǎn)重復(fù)定位精度	0.03°
	CCD	200/500萬像素工業(yè)相機(jī)		探針清潔	自動清針
	光源	面背光、點(diǎn)背光、上光源			清潔后自動測針
		光源亮度獨(dú)立可調(diào)，面背光可選擇分區(qū)控制		探針臺漏電精度（安裝針卡的情況）	100fA 以內(nèi)（測試標(biāo)準(zhǔn)：給針卡任意針腳加壓—5V~+5V，在不吹N2的情況下，空載測試漏電流<100fA）吹氮?dú)?/span>N2輔助干燥(Recipe 可以設(shè)置是否開啟N2且N2測試報(bào)告體現(xiàn)開N2與不開N2區(qū)別)
激光特性（選件）	激光系統(tǒng)	激光切割系統(tǒng)（2.2mj/Pluse Maximum@50Hz)
		0-100%
	激光波長	1064nm，532nm，355nm
	光斑尺度	1.0um @100X  object	測試能力	測試系統(tǒng)	兩套
		2.0um @50X  object			半導(dǎo)體參數(shù)測試系統(tǒng):2*HRSMU+4*MPSMU+CV 測試單元+高精度矩陣開關(guān)等
	工作模式	One Shot/Burst/Continue
	形狀	可調(diào)節(jié)的矩形		TFT測試項(xiàng)目	Ion
控制	工作模式	自動測試，CIM通訊，實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)的自動導(dǎo)入和輸出			Ioff
					Vth
	上下片	機(jī)械手或者流水線			Mobility
	CIM系統(tǒng)	有			Swing
	減震	被動式減震系統(tǒng)，能夠確保點(diǎn)針測試的穩(wěn)定性		Resistance測試項(xiàng)目	Rs
	工業(yè)PC	23寸顯示器&電腦：i7 處理器，1TB硬盤2塊			Rc
		(其中一塊為備份硬盤)，8G內(nèi)存，1G獨(dú)立顯卡		最大輸送電壓	±200V
	通訊接口	RS232/485/TCP/IPGPIB等		最大輸送電流	±1A
	安全	整機(jī)帶屏蔽罩，操作人員在屏蔽罩外操作		電流測試分辨率	1fA（無需前置放大器）
		緊急開關(guān)EMO		電壓測試分辨率	0.5uV
		限位sensor，運(yùn)動平臺和探針系統(tǒng)限位互鎖		CV 測試頻率范圍	1kHz~5MHz
		Interlock報(bào)警，自動關(guān)閉系統(tǒng)(軟件設(shè)置為可選)		接地單元電流宿能力	4.2A GNDU
應(yīng)用方向		OLED/TFT-LCD Panel TEG 電學(xué)測試
特點(diǎn)：
快的測試速度			超高的測試精度
穩(wěn)定的測試結(jié)果			mult-probe card設(shè)計(jì)
0.1um精度的直線電機(jī)平臺			自動清針，自動測針
極小的針痕損傷			全自動測試